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疊層式壓電驅(qū)動器

        采用多層壓電陶瓷薄片按照一定極性方向組合而成,在直流電壓控制下,多層陶瓷的驅(qū)動力和位移疊加輸出,從而實現(xiàn)沿長度方向穩(wěn)定高效的伸縮,具有位移分辨率高(可達到亞納米級)、驅(qū)動力大、響應(yīng)速度快等特點,主要分為位移放大裝置和主動減震裝置。


產(chǎn)品應(yīng)用:
位移放大裝置:
通過疊層式驅(qū)動器配合放大機構(gòu),將壓電陶瓷的直線位移進行放大,并在其位移的垂直方向進行輸出的裝置??蓱?yīng)用于納米定位控制臺、掃描電子顯微鏡、激光調(diào)諧、高速高壓流體閥門等微位移裝置。


主動減振裝置:
通過高精度振動傳感器測量感知環(huán)境微振動狀態(tài),通過控制器算法實時控制疊層式驅(qū)動器對基臺施加反向振動激勵,從而抵消環(huán)境振動對承載設(shè)備的影響,保障設(shè)備平穩(wěn)可靠運行。


主要特點:
陶瓷性能高、壽命長、帶寬大、大出力、大位移、一致性高、耐壓高


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